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論文

Effect of gas composition on the deposition of ZrC-C mixtures; The bromide process

小川徹; 井川勝市; 岩本多實

J.Mater.Sci., 14(1), p.125 - 132, 1979/00

https://doi.org/10.1007/BF01028335

被引用回数：21

臭化ジルコニウム、メタン、水素、アルゴンの混合ガスからの、炭化ジルコニウムおよび炭素の化学蒸着挙動について、気体組成の効果を調べた。実験から、主として混合ガス中のメタン濃度が蒸着速度、蒸着物性状の双方を決定することが分かった。また、自由エネルギー最小化法を用いて、Zr-C-H-Br系の化学平衡を計算し、計算結果と実験結果との比較をおこなった。これらの結果から、炭化ジルコニウムの化学蒸着機構を議論した。